气浮式陶瓷移动平台

• 一般直线度精度可达 ±0.01mm/m 到 ±0.005mm/m，平面度精度可达 ±0.005mm/㎡到 ±0.003mm/㎡。
• 在一些高端精密应用中，精度可进一步提高到直线度 ±0.003mm/m，平面度 ±0.001mm/㎡左右。

压电陶瓷微位移平台

• 在纳米级甚至亚纳米级，例如 xy 方向移动范围 30μm×30μm，误差可达 0.05％，z 方向移动范围 10μm，误差可达 0.05％。
• 部分高精度的压电陶瓷微位移平台，其位移分辨率可达到 0.1nm 甚至更高，定位精度可控制在 ±0.5nm 到 ±0.1nm 之间。

磁悬浮陶瓷移动平台

• 目前磁悬浮陶瓷移动平台在实验室环境下，位移精度可达到微米级，如 ±1μm 到 ±0.5μm 左右。
• 随着技术的发展，有望在未来达到更高精度，向纳米级精度迈进。

光学悬浮陶瓷移动平台

• 精度可达到极高水平，通常在亚纳米级甚至更高，如 0.1nm 到 0.01nm 的位移精度和定位精度。
• 在超精密测量、量子物理实验等对精度要求极高的领域，其精度可满足实验要求，能实现非常微小的位移和精确的定位。

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